VSA（变真空吸附）制氧、VPSA（真空变压吸附）制氧和 PSA（变压吸附）制氧是用于将氧气与空气中的其他气体分离的工艺。这些工艺通常包含两个并联的吸附塔，由自动控制的阀按批次顺序切换。每个吸附塔均包括一个沸石型吸附层，用于从空气中分离氮气，从而保留所需的氧气成分。

VSA 和 VPSA 技术都使用鼓风机将空气输送到制氧机以生成氧气。但是，VSA 和 VPSA 之间的主要区别在于：在 VSA 过程中，鼓风机的典型输送压力可达到 200-300 mBar (3-4 psi)，而在 VPSA 过程中，鼓风机的典型输送压力介于 300-1000 mBar (4-15 psi) 之间。因此，VPSA 技术可以提供更高的氧气压力。

为了能够去除捕获的氮气分子，VSA 和 VPSA 技术都在我们称为再生的工艺步骤中，使用真空泵去除捕获的氮气。在这两种技术中，真空压力水平相同。

因此，VSA 制氧和 VPSA 制氧之间的主要区别在于 VSA 在较低的鼓风机压力下运行，而 VPSA 在较高的鼓风机压力下运行。此外，VSA 通常用于纯度较低的应用，而 VPSA 可产生纯度较高的氧气。

那么，什么是 PSA？PSA 与 VPSA 类似，但又有所简化，它不使用真空泵。该技术使用压缩机（而不是鼓风机）向沸石层输送压力约为 7 Bar (100 psi) 的进气。一旦捕获的氮气使 PSA 中的沸石层达到饱和，压力就会降低到大气压力，在这种压力下，氮气会自动解吸，无需真空泵的帮助，就可以留下纯氧。由于使用压缩机而不是鼓风机，典型的氧气输送压力为 3.5 Bar (50 psi)。